Stammdaten| INID | Kriterium | Feld | Inhalt |
|---|
| Schutzrechtsart | SART | Patent |
| Status | ST | Anhängig/in Kraft |
| 21 | Aktenzeichen DE | DAKZ | 10 2021 117 027.3 |
| 54 | Bezeichnung/Titel | TI | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des Eindringens eines Teilchens in ein Material |
| 51 | IPC-Hauptklasse | ICM
(ICMV) | H01L 21/265 (2006.01) |
| 51 | IPC-Nebenklasse(n) | ICS
(ICSV) | H01J 37/317 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01), G01N 27/04 (2006.01) |
| 22 | Anmeldetag DE | DAT | 01.07.2021 |
| 43 | Offenlegungstag | OT | 05.01.2023 |
| 71/73 | Anmelder/Inhaber | INH | SaxonQ GmbH, 04107 Leipzig, DE |
| 72 | Erfinder | IN | Esquinazi, Pablo David, Prof. Dr., 04109 Leipzig, DE; Meijer, Jan Berend, Prof. Dr., 04109 Leipzig, DE; Küpper, Johannes, 04109 Leipzig, DE |
| 74 | Vertreter | VTR | Patentanwaltskanzlei Dr. Jan-David Hecht, 04109 Leipzig, DE |
| 10 | Veröffentlichte DE-Dokumente | DEPN | Originaldokument:
DE102021117027A1
Recherchierbarer Text:
DE102021117027A1 |
| Zustellanschrift | | Patentanwaltskanzlei Dr. Jan-David Hecht, 04109 Leipzig, DE |
| Inländische Priorität beansprucht in | PRNCI | PCT/EP2022/067789 |
| Fälligkeit | FT
FG | 31.07.2024
Jahresgebühr für das 4. Jahr
Gebühren für Patentschutz |
| Zuständige Patentabteilung | | 33 |
| 56 | Entgegenhaltungen/Zitate | CT | [X, Y, D]
CN000109786198A (CN 1 09 786 198 A)
[X, Y, D]
EP000001747579B1 (EP 1 747 579 B1)
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| 56 | Entgegenhaltungen/Zitate NPL | CTNP | JAMIESON, D. N., et al.: Deterministic doping. In: Mater. Sci. Semicond. Process., Vol. 62, 2017, S. 23 bis 30. – ISSN: 1369-8001;
MCCALLUM, J. C., et al.: Single-Ion Implantation for the Development of Si-Based MOSFET Devices with Quantum Functionalities. In: Adv. Mater. Sci. Eng., Vol. 2012, 2011, S. 1 bis 10. – ISSN: 1687-8434 |
| 43 | Erstveröffentlichungstag | EVT | 05.01.2023 |
| Anzahl der Bescheide | | 0 |
| Anzahl der Erwiderungen | | 0 |
| Erstmalige Übernahme in DPMAregister | EREGT | 05.01.2023 |
| Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregister | REGT | 19.07.2023
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)05.01.2023; 16.02.2023; 07.03.2023; 13.04.2023; 19.07.2023 |
