Registerauskunft Patent

Aktenzeichen WO: PCT/EP2022/067789 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 18. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2022/067789
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2023275084
54Bezeichnung/TitelTIVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DES EINDRINGENS EINES TEILCHENS IN EIN MATERIAL
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
G01N 27/04 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)
H01J 37/30 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
86Anmeldetag WOWAT28.06.2022
72ErfinderINErfinderbenennung nicht vorliegend
66
66
Inländische PrioritätPRN
PRD
10 2021 117 027.3
01.07.2021
Zuständige Patentabteilung 13
87Veröffentlichungssprache WOWLANGDE - Deutsch
57ZusammenfassungABMit der vorliegenden Erfindung werden eine Vorrichtung (10) und ein Verfahren zur Bestimmung des Eindringens eines Teilchens (42a) aus einer Teilchenquelle (40) in ein Material (12) bereitgestellt, durch die eine hoch ortsaufgelöste Teilchendetektion, insbesondere eine Einzelteilchendetektion, in einfacher und kostengünstiger Art und Weise ermöglicht wird. Damit kann das Eindringen von Teilchen (42a) in ein Material (12) schnell und sicher detektiert werden. Außerdem lässt sich mit der vorliegenden Erfindung eine deterministische Teilchenimplantation in einfacher und kostengünstiger Art und Weise verwirklichen.
81Bestimmungsstaaten WOWDSAE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IQ, IR, IS, IT, JM, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, WS, ZA, ZM, ZW
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: WO002023275084A1
Recherchierbarer Text: WO002023275084A1
43ErstveröffentlichungstagEVT05.01.2023
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT10.01.2023
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT02.03.2024
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)10.01.2023; 02.03.2024
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 28.06.2022   Details anzeigen
2 Rechercheverfahren Rechercheantrag wirksam gestellt 28.06.2022   Details anzeigen
3 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Erstveröffentlichung mit Recherchebericht 05.01.2023   Details anzeigen
4 Verfahren zur PCT-Anmeldung Wirkung für DE weggefallen 02.02.2024   Details anzeigen