Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 10 2020 123 660.3 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 23. Oktober 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ10 2020 123 660.3
54Bezeichnung/TitelTIVerfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung einer Wafer-Haltevorrichtung für eine Wafer-Lithographie
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 C25F 3/02 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 H01L 21/67 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT10.09.2020
43OffenlegungstagOT10.03.2022
71/73Anmelder/InhaberINHASML Netherlands B.V., Veldhoven, NL
72ErfinderINWeber, Constans, 12347 Berlin, DE
74VertreterVTRv. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB, 80339 München, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102020123660A1
Recherchierbarer Text: DE102020123660A1
Zustellanschrift v. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB, 80339 München, DE
Inländische Priorität beansprucht inPRNCIPCT/EP2021/073640
FälligkeitFT
FG		30.09.2026
Jahresgebühr für das 7. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 45
56Entgegenhaltungen/ZitateCT[A]    WO002020135971A1 (WO 2020/ 135 971 A1)
[X]    US000008313637B2 (US 8 313 637 B2)
[X, D]    WO002018007498A1 (WO 2018/ 007 498 A1)
[A, D]    WO002019115195A1 (WO 2019/ 115 195 A1)
56Entgegenhaltungen/Zitate NPLCTNPFunkenerodieren. In: Wikipedia, die freie Enzyklopädie. Bearbeitungsstand: 04. Februar 2021, URL: https://de.wikipedia.org/wiki/Funkenerodieren [abgerufen am 15.04.2021];
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST: Diamantähnliche Kohlenstoffschichten DLC (diamon like carbon). Bienroder Weg 54 E 38108 Braunschweig. - Produktblatt.
43ErstveröffentlichungstagEVT10.03.2022
Anzahl der Bescheide 0
Anzahl der Erwiderungen 0
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT10.03.2022
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT08.10.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 08.10.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 27.09.2025
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 08.10.2024
    • Fälligkeit: geändert
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 14.08.2024
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 06.10.2023; 08.10.2022; 07.04.2022
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 10.03.2022
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 10.09.2020  Details anzeigen
2 Rechercheverfahren Rechercheantrag wirksam gestellt 10.09.2020  Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 02.10.2020  Details anzeigen
4 Rechercheverfahren Mitteilung über den ermittelten Stand der Technik ergangen 15.04.2021  Details anzeigen
5 Anmelder-/Inhaberänderung Änderung des Anmelders/Inhabers 18.06.2021 07.04.2022 Details anzeigen
6 Anmelder-/Inhaberänderung Änderung des Anmelders/Inhabers 28.02.2022 07.04.2022 Details anzeigen
7 Publikationen Offenlegungsschrift 10.03.2022 10.03.2022 Details anzeigen
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 1)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDie Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung
VerfahrensstandstagVSTT10.09.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT10.03.2022
Verfahrensansicht Rechercheverfahren (Nr.: 2)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTRechercheverfahren
VerfahrensstandVSTRechercheantrag wirksam gestellt
VerfahrensstandstagVSTT10.09.2020
Antrag Dritter Nein
EingangstagAEGT10.09.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT10.03.2022
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 3)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDas Vorverfahren ist abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT02.10.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT10.03.2022
Verfahrensansicht Rechercheverfahren (Nr.: 4)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTRechercheverfahren
VerfahrensstandVSTMitteilung über den ermittelten Stand der Technik ergangen
VerfahrensstandstagVSTT15.04.2021
Antrag Dritter Nein
EingangstagAEGT10.09.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT10.03.2022
Verfahrensansicht Anmelder-/Inhaberänderung (Nr.: 5)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTAnmelder-/Inhaberänderung
VerfahrensstandVSTÄnderung des Anmelders/Inhabers
VerfahrensstandstagVSTT18.06.2021
HeftnummerHN14
JahrPJ2022
VeröffentlichungsdatumVT07.04.2022
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 2
71/73Anmelder/InhaberINHBerliner Glas GmbH, 12347 Berlin, DE
71/73Früherer Anmelder/InhaberINHFBERLINER GLAS KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co., 12347 Berlin, DE
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT07.04.2022
Verfahrensansicht Anmelder-/Inhaberänderung (Nr.: 6)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTAnmelder-/Inhaberänderung
VerfahrensstandVSTÄnderung des Anmelders/Inhabers
VerfahrensstandstagVSTT28.02.2022
HeftnummerHN14
JahrPJ2022
VeröffentlichungsdatumVT07.04.2022
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 2
71/73Anmelder/InhaberINHASML Netherlands B.V., Veldhoven, NL
71/73Früherer Anmelder/InhaberINHFBerliner Glas GmbH, 12347 Berlin, DE
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT07.04.2022
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 7)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTOffenlegungsschrift
VerfahrensstandstagVSTT10.03.2022
HeftnummerHN10
JahrPJ2022
VeröffentlichungsdatumVT10.03.2022
PublikationsartPARTSchriften
TeilHTTeil 2
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102020123660A1
Recherchierbarer Text: DE102020123660A1
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT10.03.2022