Registerauskunft Patent

Aktenzeichen WO: PCT/EP2021/073640 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 23. Oktober 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2021/073640
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2022053327
54Bezeichnung/TitelTIVERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINER WAFER-HALTEVORRICHTUNG FÜR EINE WAFER-LITHOGRAPHIE
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
G03F 7/20 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)
H01L 21/687 (2006.01), C25F 1/00 (2006.01)
86Anmeldetag WOWAT26.08.2021
72ErfinderINErfinderbenennung nicht vorliegend
66
66
Inländische PrioritätPRN
PRD
10 2020 123 660.3
10.09.2020
Zuständige Patentabteilung 13
87Veröffentlichungssprache WOWLANGDE - Deutsch
57ZusammenfassungABEin Verfahren zur Bearbeitung einer Wafer-Haltevorrichtung (10) für eine Wafer-Lithographie, wie z. B. die Immersionslithographie oder die Lithographie unter Vakuumbedingungen, wobei die Wafer-Haltevorrichtung (10) einen Trägerkörper (11) mit einer elektrisch leitfähigen Diamant-Deckschicht (12) umfasst. An der Wafer-Haltevorrichtung (10) wird durch die Diamant-Deckschicht (12), eine Gegenelektrode (21), eine Elektrolytflüssigkeit (22) in einem Abstand zwischen der Diamant-Deckschicht (12) und der Gegenelektrode (21), und eine Spannungsquelle (23), die mit der Diamant-Deckschicht (12) und der Gegenelektrode (21) elektrisch verbunden ist, eine elektrochemische Zelle (20) gebildet. An der Wafer-Haltevorrichtung erfolgt mittels der elektrochemischen Zelle (20) ein elektrochemischer Materialabtrag. Es wird auch eine Oberflächenbearbeitungsvorrichtung (200) beschrieben, die zur Bearbeitung einer Wafer-Haltevorrichtung (10) für eine Wafer-Lithographie eingerichtet ist.
81Bestimmungsstaaten WOWDSAE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, IT, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, WS, ZA, ZM, ZW
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: WO002022053327A1
Recherchierbarer Text: WO002022053327A1
43ErstveröffentlichungstagEVT17.03.2022
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT22.03.2022
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT11.05.2023
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 11.05.2023
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 22.03.2022
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 26.08.2021  Details anzeigen
2 Rechercheverfahren Rechercheantrag wirksam gestellt 26.08.2021  Details anzeigen
3 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Erstveröffentlichung mit Recherchebericht 17.03.2022  Details anzeigen
4 Verfahren zur PCT-Anmeldung Wirkung für DE weggefallen 12.04.2023  Details anzeigen
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 1)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDie Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung
VerfahrensstandstagVSTT26.08.2021
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.03.2022
Verfahrensansicht Rechercheverfahren (Nr.: 2)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTRechercheverfahren
VerfahrensstandVSTRechercheantrag wirksam gestellt
VerfahrensstandstagVSTT26.08.2021
Antrag Dritter Nein
EingangstagAEGT26.08.2021
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.03.2022
Verfahrensansicht Verfahren zur PCT-Anmeldung (Nr.: 3)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVerfahren zur PCT-Anmeldung
VerfahrensstandVSTWO-Erstveröffentlichung mit Recherchebericht
VerfahrensstandstagVSTT17.03.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.03.2022
Verfahrensansicht Verfahren zur PCT-Anmeldung (Nr.: 4)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVerfahren zur PCT-Anmeldung
VerfahrensstandVSTWirkung für DE weggefallen
VerfahrensstandstagVSTT12.04.2023
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT11.05.2023