57 | Zusammenfassung | AB | Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (100, 200, 400, 510, 520, 530, 540) zur Absorption von elektromagnetischer Strahlung umfassend ein Halbleitersubstrat (110, 210, 210a, 210b) mit einer Hauptseite (112, 212) und einer in die Hauptseite eingebrachte Grabenstruktur (120, 220), die zumindest einen Graben (122, 222, 224, 226,228) in dem Halbleitersubstrat umfasst, wobei jeder Graben der Grabenstruktur einen Grabenbodenbereich aufweist, und wobei das Halbleitersubstrat für die elektromagnetische Strahlung transparent ist. Die Vorrichtung umfasst ferner ein in dem Grabenbodenbereich angeordnetes Metallmaterial (130, 230, 230a, 230b), wobei das Metallmaterial mit dem Halbleitersubstrat einen für die Absorption der elektromagnetischen Strahlung eingerichteten Schottky-Übergang bereitstellt und eine in dem Graben angeordnete Auffüllstruktur (140, 240), die den Graben auffüllt und mit der Hauptseite eine gemeinsame Oberfläche bildet. Darüber hinaus umfasst die Vorrichtung einen an der gemeinsamen Oberfläche angeordneten Reflektor (150, 250), der ausgebildet ist, um die von dem Halbleitersubstrat empfangene elektromagnetische Strahlung in Richtung des Metallmaterials zumindest teilweise zu reflektieren. |
81 | Bestimmungsstaaten WO | WDS | AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CV, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IQ, IR, IS, IT, JM, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, WS, ZA, ZM, ZW |