Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 60 2020 045 713.5 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 6. August 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ60 2020 045 713.5
96Aktenzeichen EPEAKZ23 18 3592.7
97Veröffentlichungsnummer EPEPN4245834
54Bezeichnung/TitelTIZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ÄTZEN EINER HARTMASKE UND/ODER EINER ÄTZSTOPPSCHICHT IN GEGENWART VON SCHICHTEN AUS MATERIALIEN MIT NIEDRIGEM K-WERT, KUPFER, KOBALT UND/ODER WOLFRAM
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/02 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 C11D 3/00 (2006.01), C11D 7/32 (2006.01), C11D 7/50 (2006.01), C11D 11/00 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT20.05.2020
96Anmeldetag EPEAT20.05.2020
43OffenlegungstagOT20.09.2023
Veröffentlichungstag der ErteilungPET29.01.2025
71/73Anmelder/InhaberINHBASF SE, 67063 Ludwigshafen, DE
72ErfinderINHoogboom, Joannes Theodorus Valentinus, 5612 BP Eindhoven, NL; Klipp, Andreas, 67056 Ludwigshafen am Rhein, DE; Ke, Jhih Jheng, 32853 TAOYUAN, TW; Wang, Che Wei, 32853 TAOYUAN, TW; Ting, Chia Ching, 32853 TAOYUAN, TW
Zustellanschrift BASF SE, 67063 Ludwigshafen, DE
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
EP
19176290
23.05.2019
FälligkeitFT
FG		31.05.2026
Jahresgebühr für das 7. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 33
97Veröffentlichungssprache EPELANGEN - Englisch
84Benannte Vertragsstaaten EPEDSAL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: EP000004245834A2
Recherchierbarer Text: EP000004245834A2
Originaldokument: EP000004245834B1
Recherchierbarer Text: EP000004245834B1
43ErstveröffentlichungstagEVT20.09.2023
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT20.09.2023
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT12.06.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 12.06.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 06.05.2025
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 29.01.2025: neu
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 29.01.2025: gelöscht
  • 13.02.2025
    • Verfahren: Publikationen, EP-Anmeldung - DPMA-Hinweis auf EP-Patenterteilung, 13.02.2025: neu
  • 09.01.2025
    • Aktenzeichen DE: neu
    • Anmeldetag DE: neu
    • Veröffentlichungstag der Erteilung: neu
    • Anmelder/Inhaber: neu
    • Zustellanschrift: neu
    • Fälligkeit: neu
    • Veröffentlichte EP-/WO-Dokumente: geändert
    • In der Trefferliste angezeigtes Aktenzeichen: geändert
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 29.01.2025: neu
  • 05.09.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 11.07.2024; 23.11.2023
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 20.09.2023
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Erstveröffentlichung 20.09.2023  Details anzeigen
2 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA 02.11.2023 02.11.2023 Details anzeigen
3 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 14.11.2023  Details anzeigen
4 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist) 29.01.2025  Details anzeigen
5 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA 13.02.2025 13.02.2025 Details anzeigen
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 1)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Erstveröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT20.09.2023
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT20.09.2023
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT02.11.2023
HeftnummerHN44
JahrPJ2023
VeröffentlichungsdatumVT02.11.2023
PublikationsartPARTBibliografiedaten
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT20.09.2023
Verfahrensansicht Klassifikationsänderung (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTKlassifikationsänderung
VerfahrensstandVSTÄnderung der IPC-Hauptklasse
VerfahrensstandstagVSTT14.11.2023
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/02 (2006.01)
51Frühere IPC-HauptklasseICMF
(ICMVF)		 C11D 11/00 (2006.01)
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT23.11.2023
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist)
VerfahrensstandstagVSTT29.01.2025
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT06.05.2025
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 5)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT13.02.2025
HeftnummerHN7
JahrPJ2025
VeröffentlichungsdatumVT13.02.2025
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 5
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT13.02.2025