Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 60 2020 014 086.7 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 6. August 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ60 2020 014 086.7
96Aktenzeichen EPEAKZ20 72 6158.7
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2020/064144
97Veröffentlichungsnummer EPEPN3973565
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2020234395
54Bezeichnung/TitelTIZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ÄTZEN EINER HARTMASKE UND/ODER EINER ÄTZSTOPPSCHICHT IN GEGENWART VON SCHICHTEN AUS LOW-K-MATERIALIEN, KUPFER, KOBALT UND/ODER WOLFRAM
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/02 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 C11D 3/00 (2006.01), C11D 7/32 (2006.01), C11D 7/50 (2006.01), C11D 11/00 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT20.05.2020
96Anmeldetag EPEAT20.05.2020
86Anmeldetag WOWAT20.05.2020
43OffenlegungstagOT26.11.2020
Veröffentlichungstag der ErteilungPET19.07.2023
71/73Anmelder/InhaberINHBASF SE, 67063 Ludwigshafen, DE
72ErfinderINHOOGBOOM, Joannes Theodorus Valentinus, 5612 BP Eindhoven, NL; KLIPP, Andreas, 67056 Ludwigshafen, DE; KE, Jhih Jheng, Taoyuan, 32853, TW; WANG, Che Wei, Taoyuan, 32853, TW; TING, Chia Ching, Taoyuan, 32853, TW
Zustellanschrift BASF SE, 67056 Ludwigshafen, DE
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
EP
19176290
23.05.2019
FälligkeitFT
FG		31.05.2026
Jahresgebühr für das 7. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 33
97Veröffentlichungssprache EPELANGEN - Englisch
84Benannte Vertragsstaaten EPEDSAL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: EP000003973565A1
Recherchierbarer Text: EP000003973565A1
Originaldokument: EP000003973565B1
Recherchierbarer Text: EP000003973565B1
Originaldokument: WO002020234395
Recherchierbarer Text: WO002020234395
43ErstveröffentlichungstagEVT26.11.2020
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT30.03.2022
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT12.06.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 12.06.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 06.05.2025
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 19.07.2023: neu
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 19.07.2023: gelöscht
  • 15.08.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 03.07.2024; 08.06.2024; 06.06.2024; 03.05.2024; 27.07.2023; 29.06.2023
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 30.03.2022
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Veröffentlichung 26.11.2020  Details anzeigen
2 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Erstveröffentlichung 30.03.2022  Details anzeigen
3 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA 12.05.2022 12.05.2022 Details anzeigen
4 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist) 19.07.2023  Details anzeigen
5 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA 03.08.2023 03.08.2023 Details anzeigen
6 Verfahren zur EP-Anmeldung Gegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen 22.04.2024 11.07.2024 Details anzeigen
Verfahrensansicht Verfahren zur PCT-Anmeldung (Nr.: 1)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur PCT-Anmeldung
VerfahrensstandVSTWO-Veröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT26.11.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT29.06.2023
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Erstveröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT30.03.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT30.03.2022
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT12.05.2022
HeftnummerHN19
JahrPJ2022
VeröffentlichungsdatumVT12.05.2022
PublikationsartPARTBibliografiedaten
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT30.03.2022
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist)
VerfahrensstandstagVSTT19.07.2023
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT06.05.2025
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 5)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT03.08.2023
HeftnummerHN31
JahrPJ2023
VeröffentlichungsdatumVT03.08.2023
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 5
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT27.07.2023
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 6)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTGegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT22.04.2024
HeftnummerHN28
JahrPJ2024
VeröffentlichungsdatumVT11.07.2024
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 3
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT03.07.2024