Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 60 2016 084 859.7 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 26. September 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ60 2016 084 859.7
96Aktenzeichen EPEAKZ16 78 7344.7
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2016/073380
97Veröffentlichungsnummer EPEPN3377942
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2017084797
54Bezeichnung/TitelTILITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER LITHOGRAFISCHEN VORRICHTUNG
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 G03F 7/20 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT30.09.2016
96Anmeldetag EPEAT30.09.2016
86Anmeldetag WOWAT30.09.2016
43OffenlegungstagOT26.05.2017
Veröffentlichungstag der ErteilungPET20.12.2023
71/73Anmelder/InhaberINHASML Netherlands B.V., Veldhoven, NL
72ErfinderINKANEHARA, Junichi, 5500 AH Veldhoven, NL; BUTLER, Hans, 5500 AH Veldhoven, NL; DE WIT, Paul Corné Henri, 5500 AH Veldhoven, NL; VAN DER PASCH, Engelbertus Antonius Fransiscus, 5500 AH Veldhoven, NL
Zustellanschrift ASML Netherlands B.V., 5500 AH Veldhoven, NL
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
EP
16157155
24.02.2016
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
EP
15195532
20.11.2015
FälligkeitFT
FG		30.09.2025
Jahresgebühr für das 10. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 51
97Veröffentlichungssprache EPELANGEN - Englisch
84Benannte Vertragsstaaten EPEDSAL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: EP000003377942A1
Recherchierbarer Text: EP000003377942A1
Originaldokument: EP000003377942B1
Recherchierbarer Text: EP000003377942B1
Originaldokument: WO002017084797
Recherchierbarer Text: WO002017084797
43ErstveröffentlichungstagEVT26.05.2017
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT26.09.2018
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT08.05.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 08.05.2025
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 20.12.2023: neu
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 20.12.2023: gelöscht
  • 12.12.2024
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - rechtskräftig erteilt, 23.09.2024: geändert
  • 07.11.2024
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - rechtskräftig erteilt, 23.09.2024: neu
  • 08.10.2024
    • Fälligkeit: geändert
  • 25.07.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 18.07.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 06.06.2024; 02.05.2024; 25.04.2024; 04.01.2024; 24.11.2023; 23.11.2023
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 26.09.2018
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Veröffentlichung 26.05.2017  Details anzeigen
2 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Erstveröffentlichung 26.09.2018  Details anzeigen
3 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA 08.11.2018 08.11.2018 Details anzeigen
4 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist) 20.12.2023  Details anzeigen
5 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA 04.01.2024 04.01.2024 Details anzeigen
6 Verfahren zur EP-Anmeldung Gegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen 23.09.2024 12.12.2024 Details anzeigen
Verfahrensansicht Verfahren zur PCT-Anmeldung (Nr.: 1)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur PCT-Anmeldung
VerfahrensstandVSTWO-Veröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT26.05.2017
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Erstveröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT26.09.2018
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT08.11.2018
HeftnummerHN45
JahrPJ2018
VeröffentlichungsdatumVT08.11.2018
PublikationsartPARTBibliografiedaten
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist)
VerfahrensstandstagVSTT20.12.2023
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT08.05.2025
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 5)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT04.01.2024
HeftnummerHN1
JahrPJ2024
VeröffentlichungsdatumVT04.01.2024
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 5
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT04.01.2024
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 6)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTGegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT23.09.2024
HeftnummerHN50
JahrPJ2024
VeröffentlichungsdatumVT12.12.2024
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 3
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT12.12.2024