Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 60 2014 080 940.5 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 25. Oktober 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ60 2014 080 940.5
96Aktenzeichen EPEAKZ14 85 8548.2
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/US2014/063039
97Veröffentlichungsnummer EPEPN3063784
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2015066263
54Bezeichnung/TitelTIVORRICHTUNGEN, SYSTEME UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATDURCHGÄNGEN UND VORDERSEITENSTRUKTUREN
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/768 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 H01L 23/48 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT30.10.2014
96Anmeldetag EPEAT30.10.2014
86Anmeldetag WOWAT30.10.2014
43OffenlegungstagOT07.05.2015
Veröffentlichungstag der ErteilungPET27.10.2021
71/73Anmelder/InhaberINHMicron Technology Inc., Boise, Idaho, US
72ErfinderINJINDAL, Anurag, Boise, ID 83716, US; HE, Jian, Singapore 730353, SG; VASUDEVAN, Lalapet, Rangan, Singapore 760131, SG; KIRBY, Kyle, K., Eagle, ID 83616, US; LI, Hongqi, Boise, ID 83716, US
74VertreterVTRMüller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB, 80639 München, DE
Zustellanschrift Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB, 80639 München, DE
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
201314068837
31.10.2013
FälligkeitFT
FG		31.10.2025
Jahresgebühr für das 12. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 33
97Veröffentlichungssprache EPELANGEN - Englisch
84Benannte Vertragsstaaten EPEDSAL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: EP000003063784
Recherchierbarer Text: EP000003063784
Originaldokument: EP000003063784B1
Recherchierbarer Text: EP000003063784B1
Originaldokument: WO002015066263
Recherchierbarer Text: WO002015066263
43ErstveröffentlichungstagEVT07.05.2015
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT21.10.2016
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT08.11.2024
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 08.11.2024
    • Fälligkeit: geändert
  • 19.09.2024
    • Verfahren: Verfahren zur PCT-Anmeldung, PCT-Anmeldung - Veröffentlichung, 07.05.2015: gelöscht
  • 09.05.2024; 10.11.2023; 20.10.2022; 15.09.2022; 15.06.2022; 06.11.2021; 14.10.2021; 13.10.2021; 07.10.2021; 27.02.2020; 14.06.2017
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 21.10.2016
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Veröffentlichung 07.05.2015  Details anzeigen
2 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Erstveröffentlichung 07.09.2016  Details anzeigen
3 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA 20.10.2016 20.10.2016 Details anzeigen
4 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 10.05.2017  Details anzeigen
5 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist) 27.10.2021  Details anzeigen
6 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA 18.11.2021 18.11.2021 Details anzeigen
7 Verfahren zur EP-Anmeldung Gegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen 28.07.2022 20.10.2022 Details anzeigen
Verfahrensansicht Verfahren zur PCT-Anmeldung (Nr.: 1)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur PCT-Anmeldung
VerfahrensstandVSTWO-Veröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT07.05.2015
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT07.10.2021
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Erstveröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT07.09.2016
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT20.10.2016
HeftnummerHN42
JahrPJ2016
VeröffentlichungsdatumVT20.10.2016
PublikationsartPARTBibliografiedaten
Verfahrensansicht Klassifikationsänderung (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTKlassifikationsänderung
VerfahrensstandVSTÄnderung der IPC-Hauptklasse
VerfahrensstandstagVSTT10.05.2017
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/768 (2006.01)
51Frühere IPC-HauptklasseICMF
(ICMVF)		 H01L 21/60 (2006.01)
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT07.10.2021
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 5)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist)
VerfahrensstandstagVSTT27.10.2021
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT07.10.2021
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 6)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT18.11.2021
HeftnummerHN46
JahrPJ2021
VeröffentlichungsdatumVT18.11.2021
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 5
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT06.11.2021
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 7)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTGegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT28.07.2022
HeftnummerHN42
JahrPJ2022
VeröffentlichungsdatumVT20.10.2022
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 3
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT20.10.2022