Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 60 2013 007 066.0 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 6. August 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ60 2013 007 066.0
96Aktenzeichen EPEAKZ13 72 2748.4
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2013/059948
97Veröffentlichungsnummer EPEPN2850635
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2013171216
54Bezeichnung/TitelTILADUNGSTRÄGER-LITHOGRAFIESYSTEM MIT MEHREREN TEILSTRAHLEN UND KÜHLANORDNUNGSHERSTELLUNGSVERFAHREN
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01J 37/04 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 H01J 37/317 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT14.05.2013
96Anmeldetag EPEAT14.05.2013
86Anmeldetag WOWAT14.05.2013
43OffenlegungstagOT21.11.2013
Veröffentlichungstag der ErteilungPET27.04.2016
71/73Anmelder/InhaberINHMapper Lithography IP B.V., Delft, NL
72ErfinderINSPRENGERS, Johannes Petrus, NL-2497 TL Den Haag, NL; OTTEN, Christiaan, NL-3402 VH Ijsselstein, NL; JAGER, Remco, NL-3011 XW Rotterdam, NL; STEENBRINK, Stijn Willem Herman Karel, NL-2593 EC Den Haag, NL; KONING, Johan Joost, NL-2182 RG Hillegom, NL; URBANUS, Willem Henk, NL-4101 ZJ Culemborg, NL; VAN VEEN, Alexander Hendrik Vincent, NL-3039 ER Rotterdam, NL
Zustellanschrift Mapper Lithography IP B.V., 2628 XK DELFT, NL
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
201261646398 P
14.05.2012
FälligkeitFT
FG		31.05.2026
Jahresgebühr für das 14. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 54
97Veröffentlichungssprache EPELANGEN - Englisch
84Benannte Vertragsstaaten EPEDSAL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: EP000002850635
Recherchierbarer Text: EP000002850635
Originaldokument: EP000002850635B1
Recherchierbarer Text: EP000002850635B1
Originaldokument: WO002013171216
Recherchierbarer Text: WO002013171216
43ErstveröffentlichungstagEVT21.11.2013
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT26.03.2015
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT12.06.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 12.06.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 11.06.2025
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 27.04.2016: neu
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 27.04.2016: gelöscht
  • 08.06.2024; 14.06.2023; 15.06.2022; 11.06.2021; 04.06.2020; 16.08.2019; 28.05.2019; 25.04.2019; 16.05.2018; 14.09.2017; 11.05.2017; 06.04.2017; 04.04.2017; 26.01.2017; 07.06.2016; 04.05.2016; 28.04.2016
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 26.03.2015
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Veröffentlichung 21.11.2013  Details anzeigen
2 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Erstveröffentlichung 25.03.2015  Details anzeigen
3 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA 07.05.2015 07.05.2015 Details anzeigen
4 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist) 27.04.2016  Details anzeigen
5 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA 09.06.2016 09.06.2016 Details anzeigen
6 Verfahren zur EP-Anmeldung Gegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen 30.01.2017 11.05.2017 Details anzeigen
Verfahrensansicht Verfahren zur PCT-Anmeldung (Nr.: 1)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur PCT-Anmeldung
VerfahrensstandVSTWO-Veröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT21.11.2013
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Erstveröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT25.03.2015
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT07.05.2015
HeftnummerHN19
JahrPJ2015
VeröffentlichungsdatumVT07.05.2015
PublikationsartPARTBibliografiedaten
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist)
VerfahrensstandstagVSTT27.04.2016
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT11.06.2025
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 5)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT09.06.2016
HeftnummerHN23
JahrPJ2016
VeröffentlichungsdatumVT09.06.2016
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 5
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 6)
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VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTGegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT30.01.2017
HeftnummerHN19
JahrPJ2017
VeröffentlichungsdatumVT11.05.2017
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 3