Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 60 2010 033 579.8 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 6. August 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ60 2010 033 579.8
96Aktenzeichen EPEAKZ10 16 2904.6
97Veröffentlichungsnummer EPEPN2256553
54Bezeichnung/TitelTIFlüssigkeitshandhabungsstruktur und Lithographievorrichtung
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
G03F 7/20 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT17.05.2010
96Anmeldetag EPEAT17.05.2010
43OffenlegungstagOT01.12.2010
Veröffentlichungstag der ErteilungPET25.05.2016
71/73Anmelder/InhaberINHASML Netherlands B.V., Veldhoven, NL
72ErfinderINRiepen, Michel, 5501 CA Veldhoven, NL; Kemper, Nicolaas, 5653 RL Eindhoven, NL
Zustellanschrift ASML Netherlands B.V., 5504 DR VELDHOVEN, NL
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
181158 P
26.05.2009
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
239555 P
03.09.2009
FälligkeitFT
FG
31.05.2026
Jahresgebühr für das 17. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 51
97Veröffentlichungssprache EPELANGEN - Englisch
84Benannte Vertragsstaaten EPEDSAL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: EP000002256553
Recherchierbarer Text: EP000002256553
Originaldokument: EP000002256553B1
Recherchierbarer Text: EP000002256553B1
43ErstveröffentlichungstagEVT01.12.2010
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT27.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT12.06.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 12.06.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 11.06.2025
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 25.05.2016: neu
    • Verfahren: Verfahren zur EP-Anmeldung, EP-Anmeldung - Veröffentlichung EP-Patenterteilung, 25.05.2016: gelöscht
  • 08.06.2024; 14.06.2023; 15.06.2022; 11.06.2021; 04.06.2020; 19.08.2019; 28.05.2019; 12.06.2018; 14.09.2017; 03.06.2017; 04.05.2017; 27.04.2017; 26.01.2017; 07.07.2016; 01.06.2016; 26.05.2016; 08.05.2014; 15.02.2013
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 27.05.2011
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Erstveröffentlichung 01.12.2010  Details anzeigen
2 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Rechercheberichts 01.12.2010  Details anzeigen
3 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA 13.01.2011 13.01.2011 Details anzeigen
4 Verfahren zur EP-Anmeldung EPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist) 25.05.2016  Details anzeigen
5 Publikationen Veröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA 07.07.2016 07.07.2016 Details anzeigen
6 Verfahren zur EP-Anmeldung Gegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen 28.02.2017 08.06.2017 Details anzeigen
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 1)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Erstveröffentlichung
VerfahrensstandstagVSTT01.12.2010
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 2)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Rechercheberichts
VerfahrensstandstagVSTT01.12.2010
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 3)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Erstveröffentlichung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT13.01.2011
HeftnummerHN2
JahrPJ2011
VeröffentlichungsdatumVT13.01.2011
PublikationsartPARTBibliografiedaten
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 4)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTEPA-Veröffentlichung des Hinweises auf Patenterteilung (Beginn der Einspruchsfrist)
VerfahrensstandstagVSTT25.05.2016
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT11.06.2025
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 5)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTVeröffentlichung eines Hinweises auf die EP-Patenterteilung durch das DPMA
VerfahrensstandstagVSTT07.07.2016
HeftnummerHN27
JahrPJ2016
VeröffentlichungsdatumVT07.07.2016
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 5
Verfahrensansicht Verfahren zur EP-Anmeldung (Nr.: 6)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVerfahren zur EP-Anmeldung
VerfahrensstandVSTGegen die Patenterteilung wurde kein Einspruch erhoben, bzw. Einspruchsverfahren ist beim EPA ohne Entscheidung abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT28.02.2017
HeftnummerHN23
JahrPJ2017
VeröffentlichungsdatumVT08.06.2017
PublikationsartPARTBibliografiedaten
TeilHTTeil 3