Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 10 2022 122 500.3 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 23. Oktober 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ10 2022 122 500.3
54Bezeichnung/TitelTIHERSTELLUNGSVERFAHREN VON EUV-FOTOMASKEN
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 G03F 1/24 (2012.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 G03F 7/20 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT06.09.2022
43OffenlegungstagOT25.05.2023
71/73Anmelder/InhaberINHTaiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., Hsinchu, TW
72ErfinderINHsieh, Wei-Che, Hsinchu, TW; Chu, Chia-Ching, Hsinchu, TW; Chen, Ya-Lun, Hsinchu, TW; Su, Yu-Chung, Hsinchu, TW; Wang, Tzu-Yi, Hsinchu, TW; Cheng, Yahru, Hsinchu, TW; Lien, Ta-Cheng, Hsinchu, TW; Lee, Hsin-Chang, Hsinchu, TW; Chang, Ching-Yu, Hsinchu, TW
74VertreterVTRBOEHMERT & BOEHMERT Anwaltspartnerschaft mbB - Patentanwälte Rechtsanwälte, 28359 Bremen, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102022122500A1
Recherchierbarer Text: DE102022122500A1
Zustellanschrift BOEHMERT & BOEHMERT Anwaltspartnerschaft mbB - Patentanwälte Rechtsanwälte, 28359 Bremen, DE
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
63/283,162
24.11.2021
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
17/736,772
04.05.2022
FälligkeitFT
FG		30.09.2026
Jahresgebühr für das 5. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 51
56Entgegenhaltungen/ZitateCT[Y]    US020190385837A1 (US 2019 / 0 385 837 A1)
[Y]    DE102020102450A1 (DE 10 2020 102 450 A1)
[Y]    US020080070128A1 (US 2008 / 0 070 128 A1)
[Y]    DE102019124781A1 (DE 10 2019 124 781 A1)
43ErstveröffentlichungstagEVT25.05.2023
Anzahl der Bescheide 1
Anzahl der Erwiderungen 0
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT25.05.2023
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT08.10.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 08.10.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 03.06.2025
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 29.03.2025
    • Entgegenhaltungen/Zitate: neu
    • Anzahl der Bescheide: geändert
    • Verfahren: Prüfungsverfahren, Prüfung - Bescheid ergangen, 28.03.2025: neu
  • 08.10.2024
    • Fälligkeit: geändert
  • 16.08.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 23.05.2024; 19.12.2023; 14.12.2023
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 25.05.2023
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 06.09.2022  Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 06.09.2022  Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 24.10.2022  Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 25.05.2023 25.05.2023 Details anzeigen
5 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 28.03.2025  Details anzeigen
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 1)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDie Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung
VerfahrensstandstagVSTT06.09.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT25.05.2023
Verfahrensansicht Prüfungsverfahren (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTPrüfungsverfahren
VerfahrensstandVSTPrüfungsantrag wirksam gestellt
VerfahrensstandstagVSTT06.09.2022
Antrag Dritter Nein
EingangstagAEGT06.09.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT25.05.2023
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDas Vorverfahren ist abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT24.10.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT25.05.2023
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTOffenlegungsschrift
VerfahrensstandstagVSTT25.05.2023
HeftnummerHN21
JahrPJ2023
VeröffentlichungsdatumVT25.05.2023
PublikationsartPARTSchriften
TeilHTTeil 2
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102022122500A1
Recherchierbarer Text: DE102022122500A1
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT25.05.2023
Verfahrensansicht Prüfungsverfahren (Nr.: 5)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTPrüfungsverfahren
VerfahrensstandVSTPrüfungsbescheid
VerfahrensstandstagVSTT28.03.2025
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT29.03.2025