Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 10 2022 110 484.2 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 9. August 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ10 2022 110 484.2
54Bezeichnung/TitelTIINSPEKTIONSWERKZEUG FÜR EIN HALBLEITERVERARBEITUNGSWERKZEUG UND VERWENDUNGSVERFAHREN
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/66 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 G03F 7/20 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT29.04.2022
43OffenlegungstagOT22.12.2022
71/73Anmelder/InhaberINHTaiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., Hsinchu, TW
72ErfinderINTsai, Ming-Hsun, Hsinchu, TW; Lai, Cheng-Hao, Hsinchu, TW; Chien, Shang-Chieh, Hsinchu, TW; Chen, Li-Jui, Hsinchu, TW; Liu, Heng-Hsin, Hsinchu, TW
74VertreterVTRBOEHMERT & BOEHMERT Anwaltspartnerschaft mbB - Patentanwälte Rechtsanwälte, 28359 Bremen, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102022110484A1
Recherchierbarer Text: DE102022110484A1
Zustellanschrift BOEHMERT & BOEHMERT Anwaltspartnerschaft mbB - Patentanwälte Rechtsanwälte, 28359 Bremen, DE
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
63/202,601
17.06.2021
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
17/659,453
15.04.2022
FälligkeitFT
FG		30.04.2026
Jahresgebühr für das 5. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 33
43ErstveröffentlichungstagEVT22.12.2022
Anzahl der Bescheide 0
Anzahl der Erwiderungen 0
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT22.12.2022
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT09.05.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 09.05.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 06.05.2025
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 16.08.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 14.05.2024; 07.05.2024; 19.12.2023; 14.12.2023
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 22.12.2022
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 29.04.2022  Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 29.04.2022  Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 29.06.2022  Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 22.12.2022 22.12.2022 Details anzeigen
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 1)
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VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDie Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung
VerfahrensstandstagVSTT29.04.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.12.2022
Verfahrensansicht Prüfungsverfahren (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTPrüfungsverfahren
VerfahrensstandVSTPrüfungsantrag wirksam gestellt
VerfahrensstandstagVSTT29.04.2022
Antrag Dritter Nein
EingangstagAEGT29.04.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.12.2022
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDas Vorverfahren ist abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT29.06.2022
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.12.2022
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTOffenlegungsschrift
VerfahrensstandstagVSTT22.12.2022
HeftnummerHN51
JahrPJ2022
VeröffentlichungsdatumVT22.12.2022
PublikationsartPARTSchriften
TeilHTTeil 2
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102022110484A1
Recherchierbarer Text: DE102022110484A1
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT22.12.2022