Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 10 2020 122 798.1 (Status: anhängig/in Kraft, Stand am: 23. Oktober 2025)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTAnhängig/in Kraft
21Aktenzeichen DEDAKZ10 2020 122 798.1
54Bezeichnung/TitelTIIONENIMPLANTATIONSVERFAHREN ZUR DEFEKTBESEITIGUNG BEI EINER METALLSCHICHTPLANARISIERUNG
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/768 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 H01L 23/532 (2006.01), H01L 21/302 (2006.01), H10D 64/01 (2025.01)
22Anmeldetag DEDAT01.09.2020
43OffenlegungstagOT30.09.2021
71/73Anmelder/InhaberINHTaiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd., Hsinchu, TW
72ErfinderINChen, Chia-Cheng, Hsinchu, TW; Chang, Huicheng, Hsinchu, TW; Huang, Fu-Ming, Hsinchu, TW; Chen, Kei-Wei, Hsinchu, TW; Chen, Liang-Yin, Hsinchu, TW; Chang, Tang-Kuei, Hsinchu, TW; Yeo, Yee-Chia, Hsinchu, TW; Liang, Wei-Wei, Hsinchu, TW; Cui, Ji, Hsinchu, TW
74VertreterVTRBOEHMERT & BOEHMERT Anwaltspartnerschaft mbB - Patentanwälte Rechtsanwälte, 28359 Bremen, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102020122798A1
Recherchierbarer Text: DE102020122798A1
Zustellanschrift BOEHMERT & BOEHMERT Anwaltspartnerschaft mbB - Patentanwälte Rechtsanwälte, 28359 Bremen, DE
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
63/002,291
30.03.2020
33
31
32
Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
16/997,616
19.08.2020
FälligkeitFT
FG		30.09.2026
Jahresgebühr für das 7. Jahr Gebühren für Patentschutz
Zuständige Patentabteilung 33
56Entgegenhaltungen/ZitateCT US020090321935A1 (US 2009 / 0 321 935 A1)
US020020115292A1 (US 2002 / 0 115 292 A1)
US020180040507A1 (US 2018 / 0 040 507 A1)
US020190157148A1 (US 2019 / 0 157 148 A1)
US020060286797A1 (US 2006 / 0 286 797 A1)
US020140291847A1 (US 2014 / 0 291 847 A1)
US020090098726A1 (US 2009 / 0 098 726 A1)
43ErstveröffentlichungstagEVT30.09.2021
Anzahl der Bescheide 1
Anzahl der Erwiderungen 0
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT30.09.2021
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT08.10.2025
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)
  • 08.10.2025
    • Fälligkeit: geändert
  • 01.07.2025
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 28.06.2025
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 27.02.2025
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 12.02.2025
    • IPC-Nebenklasse(n): geändert
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 26.10.2024
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 08.10.2024
    • Fälligkeit: geändert
    • Entgegenhaltungen/Zitate: geändert
  • 19.08.2024
    • St.36: geändert (technische Änderung)
  • 23.05.2024; 20.02.2024; 17.02.2024; 10.02.2024; 14.12.2023; 06.10.2023; 13.10.2022
    • Historiendaten für diese(n) Zeitpunkt(e) nicht vorhanden
  • 30.09.2021
    • Erstmalige Übernahme in DPMAregister
Verfahrensdaten
Nr.VerfahrensartVerfahrensstandVerfahrensstandstagVeröffentlichungsdatumAlle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 01.09.2020  Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 01.09.2020  Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 07.12.2020  Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 30.09.2021 30.09.2021 Details anzeigen
5 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 19.02.2024  Details anzeigen
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 1)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDie Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung
VerfahrensstandstagVSTT01.09.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT30.09.2021
Verfahrensansicht Prüfungsverfahren (Nr.: 2)
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VerfahrensartVARTPrüfungsverfahren
VerfahrensstandVSTPrüfungsantrag wirksam gestellt
VerfahrensstandstagVSTT01.09.2020
Antrag Dritter Nein
EingangstagAEGT01.09.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT30.09.2021
Verfahrensansicht Vorverfahren (Nr.: 3)
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VerfahrensartVARTVorverfahren
VerfahrensstandVSTDas Vorverfahren ist abgeschlossen
VerfahrensstandstagVSTT07.12.2020
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT30.09.2021
Verfahrensansicht Publikationen (Nr.: 4)
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VerfahrensartVARTPublikationen
VerfahrensstandVSTOffenlegungsschrift
VerfahrensstandstagVSTT30.09.2021
HeftnummerHN39
JahrPJ2021
VeröffentlichungsdatumVT30.09.2021
PublikationsartPARTSchriften
TeilHTTeil 2
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102020122798A1
Recherchierbarer Text: DE102020122798A1
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT30.09.2021
Verfahrensansicht Prüfungsverfahren (Nr.: 5)
INIDKriteriumFeldInhalt Details schließen
VerfahrensartVARTPrüfungsverfahren
VerfahrensstandVSTPrüfungsbescheid
VerfahrensstandstagVSTT19.02.2024
Tag der Aktualisierung des VerfahrensREGT20.02.2024