Registerauskunft Patent

Aktenzeichen WO: PCT/EP2017/081832 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 1. Juni 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2017/081832
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2018108697
54Bezeichnung/TitelTIANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR ROBUSTEN SINGLE-SHOT-INTERFEROMETRIE
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
G01B 9/02 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)
G02B 5/122 (2006.01)
86Anmeldetag WOWAT07.12.2017
72ErfinderINErfinderbenennung nicht vorliegend
66
66
Inländische PrioritätPRN
PRD
10 2016 014 802.0
13.12.2016
Zuständige Patentabteilung 51
87Veröffentlichungssprache WOWLANGDE - Deutsch
57ZusammenfassungABDie vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur Single-shot-Interferometric, die zur Erfassung von Abstand, Profil, Form, Welligkeit, Rauheit oder der optischen Weglänge in oder an optisch rauen oder glatten Objekten oder auch zur optischen Kohärenz-Tomografie (OCT) eingesetzt werden können. Die Anordnung umfasst eine Lichtquelle, ein Interfcrometer, bei dem im Referenzstrahlengang ein End-Reflektor angeordnet ist, sowie einen Detektor zur Detektion eines Interferogramms. Im Referenzstrahlengang des Interferometers kann der End-Reflektor mit drei planen Reflexionsflächen als Prismenspiegel- oder als Luftspiegel-Baugruppe ausgebildet werden, um zwischen Referenz- und Objektbündel eine Lateral-Shear vom Betrag delta_q zur Gewinnung eines räumlichen Interferogramms zu erzeugen. Die Ausbildung dieser Baugruppe hinsichtlich der Winkel und der Anordnung der Reflexionsflächen ermöglicht einen großen Aperturwinkel für eine hohe numerische Apertur. Beim Verfahren kann im Referenzstrahlengang eine Reduzierung des Aperturwinkels des Referenz-Strahlenbündels mit bündelbegrenzenden Mitteln durchgeführt werden, um eine optimale Anpassung an den geometrisch gegebenen Aperturwinkel des End-Reflektors im Referenzstrahlengang zu erreichen, der kleiner als der Aperturwinkel im Objektstrahlengang ausgebildet ist. Der End-Reflektor im Referenzstrahlengang kann auch als Bestandteil eines zweiten Interferometers zur hochaufgelösten Messung der Verschiebung der Anordnung zur Single-shot-Interferometrie genutzt werden, wobei diese Verschiebung der Fokussierung dient. Der End-Reflektor ist als eine Dreifach-Reflexions-Anordnung (z.B. eine Prismenanordnung) mit drei Reflexionsflächen ausgebildet. Die Dreifach-Reflexions-Anordnung kann einen M- oder W-Strahlengang, einen sich nicht kreuzenden Zick-Zack Strahlengang oder einen sich kreuzenden (Zick-Zack) Strahlengang aufweisen.
81Bestimmungsstaaten WOWDSAE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: WO2018108697A1
Recherchierbarer Text: WO2018108697A1
43ErstveröffentlichungstagEVT21.06.2018
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT22.06.2018
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT13.07.2019
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)22.06.2018; 29.10.2018; 13.07.2019
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 07.12.2017   Details anzeigen
2 Rechercheverfahren Rechercheantrag wirksam gestellt 07.12.2017   Details anzeigen
3 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Erstveröffentlichung mit Recherchebericht 21.06.2018   Details anzeigen
4 Verfahren zur PCT-Anmeldung Wirkung für DE weggefallen 14.06.2019   Details anzeigen