Registerauskunft Patent

Aktenzeichen WO: PCT/EP2013/073635 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 9. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/EP2013/073635
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2014076090
54Bezeichnung/TitelTIVERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRANSPORT FLACHER SUBSTRATE
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
H01L 21/677 (2006.01)
86Anmeldetag WOWAT12.11.2013
72ErfinderINErfinderbenennung nicht vorliegend
66
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Inländische PrioritätPRN
PRD
10 2012 110 916.8
13.11.2012
Zuständige Patentabteilung 36
87Veröffentlichungssprache WOWLANGDE - Deutsch
57ZusammenfassungABDie Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) mit zwei Flachseiten in eine Transportrichtung innerhalb eines zumindest teilweise mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) aufhebende Tragekomponente sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1), wobei der Transportkanal (2) in den Wänden (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist.
81Bestimmungsstaaten WOWDSAE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: WO2014076090A1
Recherchierbarer Text: WO2014076090A1
43ErstveröffentlichungstagEVT22.05.2014
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT29.03.2015
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT18.11.2023
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)29.03.2015; 11.06.2015; 29.10.2018; 18.11.2023
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 12.11.2013   Details anzeigen
2 Rechercheverfahren Rechercheantrag wirksam gestellt 12.11.2013   Details anzeigen
3 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Erstveröffentlichung mit Recherchebericht 22.05.2014   Details anzeigen
4 Verfahren zur PCT-Anmeldung Wirkung für DE weggefallen 13.05.2015   Details anzeigen