Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 198 11 965.8 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 6. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ198 11 965.8
54Bezeichnung/TitelTIVerfahren und Vorrichtung zur photoinduzierten Kontrolle des anisotropen Ätzens von kristallinem Silizium
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 C30B 33/10 (2000.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 H01L 21/306 (2000.01)
22Anmeldetag DEDAT19.03.1998
43OffenlegungstagOT23.09.1999
71/73Anmelder/InhaberINHMescheder, Ulrich, Prof. Dr., 78120 Furtwangen, DE; Kötter, Christiane, 88213 Ravensburg, DE
72ErfinderINErfinder ist Anmelder
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE000019811965A1
Recherchierbarer Text: DE000019811965A1
Zustellanschrift Herrn Prof. Dr. Ulrich Mescheder, 78120 Furtwangen, DE
LizenzLIZLizenzinteresseerklärung vorhanden
Zuständige Patentabteilung 43
57ZusammenfassungABIn der Anmeldung wird eine Vorrichtung und ein Verfahren beschrieben, das zur Herstellung mikromechanischer Elemente mit Hilfe eines elektrochemischen Ätzverfahrens dient, bei dem zur gezielten Strukturierung des einkristallinen Siliziums mit Lichtunterstützung gearbeitet wird. Die Dickeneinstellung der herzustellenden Si-Elemente (z. B. dünne Membranen für Drucksensoren) erfolgt durch eine ebenfalls auf optischen Prinzipien beruhende integrierte Meßvorrichtung.
43ErstveröffentlichungstagEVT23.09.1999
Anzahl der Bescheide 0
Anzahl der Erwiderungen 0
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT26.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT09.02.2013
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)26.05.2011; 30.05.2011; 09.02.2013
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 19.03.1998   Details anzeigen
2 Lizenzerklärungen Unverbindliches Lizenzinteresse erklärt 19.03.1998 28.10.1999 Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 05.03.1999   Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 23.09.1999 23.09.1999 Details anzeigen
5 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 09.10.1999   Details anzeigen
6 Verwaltungsverfahren Die Anmeldung gilt als zurückgenommen wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr/das Schutzrecht ist wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr erloschen 01.01.2002 27.06.2002 Details anzeigen