StammdatenINID | Kriterium | Feld | Inhalt |
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| Schutzrechtsart | SART | Patent |
| Status | ST | Nicht anhängig/erloschen |
21 | Aktenzeichen DE | DAKZ | 197 53 790.1 |
54 | Bezeichnung/Titel | TI | Verfahren zur Untersuchung einer Oberflächenschicht |
51 | IPC-Hauptklasse | ICM (ICMV) | G01N 33/00 (2006.01) |
51 | IPC-Nebenklasse(n) | ICS (ICSV) | G01N 33/483 (2006.01), G01N 27/327 (2006.01), G06T 7/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01) |
22 | Anmeldetag DE | DAT | 04.12.1997 |
43 | Offenlegungstag | OT | 17.06.1999 |
| Veröffentlichungstag der Erteilung | PET | 19.07.2001 |
71/73 | Anmelder/Inhaber | INH | Micronas GmbH, 79108 Freiburg, DE |
72 | Erfinder | IN | Wolf, Bernhard, Prof. Dr.rer.nat., 79252 Stegen, DE; Gahle, Hans-Jürgen, Dr.-Ing., 79312 Emmendingen, DE; Igel, Günter, Dipl.-Ing., 79331 Teningen, DE; Baumann, Werner, 79110 Freiburg, DE; Ehret, Ralf, 79291 Merdingen, DE; Lehmann, Mirko, 79117 Freiburg, DE |
74 | Vertreter | VTR | Westphal, Mussgnug & Partner Patentanwälte mit beschränkter Berufshaftung, 80331 München, DE |
10 | Veröffentlichte DE-Dokumente | DEPN | Originaldokument:
DE000019753790A1 Recherchierbarer Text:
DE000019753790A1 Originaldokument:
DE000019753790C2 Recherchierbarer Text:
DE000019753790C2 |
| Zustellanschrift | | Westphal, Mussgnug & Partner Patentanwälte mit beschränkter Berufshaftung, 80331 München, DE |
| Zuständige Patentabteilung | | 52 |
57 | Zusammenfassung | AB | Bei einem Verfahren zur Untersuchung der Oberfläche eines Objektes auf eine topographische und/oder chemische Eigenschaft wird die Objekt-Oberfläche zur Untersuchung einer topographischen Eigenschaft mit oberflächenstrukturselektiven und/oder zur Untersuchung einer chemischen Eigenschaft mit chemoselektiven Biokomponenten sowie mit einem Nähr- oder osmotischen Schutzmedium dafür derart beaufschlagt, daß in dem Nähr- oder osmotischen Schutzmedium angeordnete Biokomponenten mit der Objekt-Oberfläche in Berührung stehen oder um weniger als die Detektionsreichweite der Biokomponenten von der Objekt-Oberfläche beabstandet sind. Anschließend wird die Objekt-Oberfläche mit den mit den in dem Nähr- oder osmotischen Schutzmedium angeordneten Biokomponenten durch Ermitteln wenigstens eines Untersuchungsmeßwertes untersucht. Der Untersuchungsmeßwert wird dann mit einem Referenzmeßwert verglichen und aus dem Ergebnis des Vergleichs wird auf topographische und/oder chemische Eigenschaften des Objektes rückgeschlossen.$A Mit dem Verfahren kann eine Objekt-Oberfläche auf einfache Weise mit hoher Meßempfindlichkeit auf eine topographische und/oder chemische Eigenschaft untersucht werden. |
56 | Entgegenhaltungen/Zitate | CT |
DE000019601488C1 (DE 1 96 01 488 C1)
DE000019512117A1 (DE 1 95 12 117 A1)
DE000003836716A1 (DE 38 36 716 A1)
US000005545531A (US 55 45 531)
US000005510628A (US 55 10 628)
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56 | Entgegenhaltungen/Zitate NPL | CTNP | DE-Z: Fresenius Journal Anal.Chem. (1992) 343 : 765-768 |
43 | Erstveröffentlichungstag | EVT | 17.06.1999 |
| Anzahl der Bescheide | | 2 |
| Anzahl der Erwiderungen | | 2 |
| Erstmalige Übernahme in DPMAregister | EREGT | 27.05.2011 |
| Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregister | REGT | 19.01.2016 (alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)27.05.2011; 21.01.2013; 19.01.2016 |