Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 196 41 777.5 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 8. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ196 41 777.5
54Bezeichnung/TitelTIVerfahren zum Herstellen eines Sensors mit einer Metallelektrode in einer MOS-Anordnung
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/28 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 G01N 27/414 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT10.10.1996
43OffenlegungstagOT16.04.1998
Veröffentlichungstag der ErteilungPET27.09.2001
71/73Anmelder/InhaberINHMicronas GmbH, 79108 Freiburg, DE
72ErfinderINIgel, Günter, Dipl.-Ing., 79312 Emmendingen, DE; Gahle, Günter, Dr.-Ing., 79312 Emmendingen, DE; Baumann, Werner, Dipl.-Phys., 79100 Freiburg, DE; Ehret, Ralf, Dipl.-Phys., 79291 Merdingen, DE; Lehmann, Mirko, 79117 Freiburg, DE; Wolf, Bernhard, Prof. Dr., 79522 Stegen, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE000019641777A1
Recherchierbarer Text: DE000019641777A1
Originaldokument: DE000019641777C2
Recherchierbarer Text: DE000019641777C2
Zustellanschrift Micronas GmbH Patentabteilung, 79008 Freiburg, DE
Zuständige Patentabteilung 33
57ZusammenfassungABDie Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Sensors mit einer Metallelektrode in einer MOS-Anordnung. Während des MOS-Prozesses wird ein Sensorbereich 7 für den Sensor mit einer Struktur für die Metallelektrode 13 erzeugt, wobei die Struktur aus einem Material mit vorbestimmten Hafteigenschaften für Metalle besteht, der Sensorbereich 7 durch Ätzen der Passivierungsschicht 12 freigelegt wird, und eine Metallisierung der Oberfläche der MOS-Anordnung vorgenommen wird, bei der die Metallschicht nur auf der Struktur für die Metallelektrode 13 haften bleibt.
56Entgegenhaltungen/ZitateCT DE000004034868C2 (DE 40 34 868 C2)
DE000001000533A (DE-AS 10 00 533)
DE000002163176A (DE-OS 21 63 176)
GB000002200999A (GB 22 00 999 A)
US000004878015A (US 48 78 015)
US000004508613A (US 45 08 613)
EP000000065350A1 (EP 00 65 350 A1)
43ErstveröffentlichungstagEVT16.04.1998
Anzahl der Bescheide 2
Anzahl der Erwiderungen 2
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT27.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT19.01.2016
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)27.05.2011; 21.01.2013; 19.01.2016
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 10.10.1996   Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 25.10.1996   Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 17.12.1996   Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 16.04.1998 16.04.1998 Details anzeigen
5 Anmelder-/Inhaberänderung Änderung des Anmelders/Inhabers 23.04.1998 25.06.1998 Details anzeigen
6 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 09.10.1999   Details anzeigen
7 Anmelder-/Inhaberänderung Änderung des Anmelders/Inhabers 11.10.2000 14.12.2000 Details anzeigen
8 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 12.03.2001   Details anzeigen
9 Prüfungsverfahren Erteilungsbeschluss durch Prüfungsstelle/Patentabteilung 02.05.2001   Details anzeigen
10 Publikationen Patentschrift 27.09.2001 27.09.2001 Details anzeigen
11 Prüfungsverfahren Patent rechtskräftig erteilt 28.12.2001 28.03.2002 Details anzeigen
12 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 17.10.2005   Details anzeigen
13 Verwaltungsverfahren Die Anmeldung gilt als zurückgenommen wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr/das Schutzrecht ist wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr erloschen 01.05.2007 23.08.2007 Details anzeigen