Stammdaten| INID | Kriterium | Feld | Inhalt |
|---|
| Schutzrechtsart | SART | Patent |
| Status | ST | Nicht anhängig/erloschen |
| 21 | Aktenzeichen DE | DAKZ | 102 42 592.2 |
| 54 | Bezeichnung/Titel | TI | Verfahren zur Herstellung von Feuchtesensoren |
| 51 | IPC-Hauptklasse | ICM
(ICMV) | G01N 27/22 (2006.01) |
| 22 | Anmeldetag DE | DAT | 13.09.2002 |
| 43 | Offenlegungstag | OT | 18.03.2004 |
| 71/73 | Anmelder/Inhaber | INH | Fachhochschule Furtwangen, 78120 Furtwangen, DE; Research Institut for Technical Physis and Materials Science-MFA, Budapest, HU |
| 72 | Erfinder | IN | Mescheder, Ulrich, Prof. Dr., 78120 Furtwangen, DE; Kovacs, Andras, Dr., 78120 Furtwangen, DE; Müller, Bernhard, Dipl.-Phys., 78052 Villingen-Schwenningen, DE; Bársony, István, Dr., Budapest, HU; Fürjes, Péter, Dipl.-Ing., Csokvaomány, HU; Adám, Mária, Budakeszi, HU; Dücsö, Csaba, Dr., Budapest, HU |
| 74 | Vertreter | VTR | Gagel, Roland, Dipl.-Phys.Univ. Dr.rer.nat., 81241 München, DE |
| 10 | Veröffentlichte DE-Dokumente | DEPN | Originaldokument:
DE000010242592A1
Recherchierbarer Text:
DE000010242592A1 |
| Zustellanschrift | | Patentanwaltskanzlei Dr. Roland Gagel, 81241 München, DE |
| Zuständige Patentabteilung | | 52 |
| 57 | Zusammenfassung | AB | Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Feuchtesensoren aus porösem Silizium mit kapazitiver und resistiver Signalwandlung. Bei dem Verfahren wird eine Zwischenschicht aus einkristallinem Silizium zwischen Metall und porösem Silizium verwendet, die durch eine schwach n dotierte Diffusion hergestellt werden kann, welche bei der Bildung des porösen Siliziums unverändert bleibt (Ätzstop) und anschließend beliebig umdotiert werden kann. Weiterhin wird die Heizung zum Reaktivieren der sensitiven Schicht aus dem porösen Silizium direkt auf das poröse Silizium aufgebracht. |
| 43 | Erstveröffentlichungstag | EVT | 18.03.2004 |
| Anzahl der Bescheide | | 0 |
| Anzahl der Erwiderungen | | 0 |
| Erstmalige Übernahme in DPMAregister | EREGT | 26.05.2011 |
| Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregister | REGT | 25.08.2015
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)26.05.2011; 31.05.2011; 24.01.2013; 25.08.2015 |
