Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 10 2004 052 643.5 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 7. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ10 2004 052 643.5
54Bezeichnung/TitelTIVerfahren zur Herstellung eines lateralen Trenchtransistors
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
H01L 21/336 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)
H01L 29/78 (2006.01), H01L 29/739 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT29.10.2004
43OffenlegungstagOT04.05.2006
Veröffentlichungstag der ErteilungPET16.06.2016
71/73Anmelder/InhaberINHInfineon Technologies AG, 81669 München, DE
72ErfinderINHirler, Franz, Dr., 84424 Isen, DE; Wahl, Uwe, Dr.-Ing., 80798 München, DE; Meyer, Thorsten, Dr., 81545 München, DE; Rüb, Michael, Dr., Faak am See, AT; Willmeroth, Armin, 86163 Augsburg, DE; Schmitt, Markus, 81373 München, DE; Tolksdorf, Carolin, 82327 Tutzing, DE; Schäffer, Carsten, Sattendorf, AT
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102004052643A1
Recherchierbarer Text: DE102004052643A1
Originaldokument: DE102004052643B4
Recherchierbarer Text: DE102004052643B4
Zustellanschrift Intellectual Property Infineon Technologies AG, 80506 München, DE
Zuständige Patentabteilung 33
62Teilung/Ausscheidung in AKZTIAKZ10 2004 063 991.4
57ZusammenfassungABEin lateraler Trenchtransistor (1) weist einen Halbleiterkörper (2) auf, in dem ein Sourcegebiet (3) und ein Bodygebiet (4), die durch einen Sourcekontakt (12) kontaktiert werden, ein Draingebiet (5), das durch einen Drainkontakt (15) kontaktiert wird, und einen Gatetrench (6), in dem eine gegenüber dem Halbleiterkörper (2) isolierte Gateelektrode (7) eingebettet ist, vorgesehen sind. Innerhalb des Bodygebiets (4) bzw. daran angrenzend ist ein hochdotiertes Halbleitergebiet (10) vorgesehen, das mit dem Sourcekontakt (12) elektrisch verbunden ist und dessen Dotiertyp dem des Bodygebiets (4) entspricht.
56Entgegenhaltungen/ZitateCT DE000010358697A1 (DE 103 58 697 A1)
DE000010210138A1 (DE 102 10 138 A1)
US020040014263A1 (US 2004 / 0 014 263 A1)
US000003975221A (US 3 975 221 A)
EP000001094525A2 (EP 1 094 525 A2)
[A, D]    DE000019818300C1 (DE 198 18 300 C1)
56Entgegenhaltungen/Zitate NPLCTNPSakakibara et al: Break-through of the Si Limit under 300 V breakdown voltage with new concept power device: Super 3D MOSFET. In: ISPSD 2002, 2002, S233 - 236.;
Yamaguchi et al: Ultra Low ON-resistance Super 3D MOSFET. In: ISPSD 2003, 2003, S. 319 - 319.
43ErstveröffentlichungstagEVT04.05.2006
Anzahl der Bescheide 2
Anzahl der Erwiderungen 1
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT27.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT29.07.2020
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)27.05.2011; 31.05.2011; 18.07.2011; 05.11.2011; 13.01.2012; 01.05.2012; 06.11.2012; 10.01.2013; 12.01.2013; 22.01.2013; 02.03.2013; 08.11.2013; 15.01.2014; 23.02.2014; 27.02.2014; 04.07.2014; 14.01.2015; 17.11.2015; 15.01.2016; 09.02.2016; 25.02.2016; 01.03.2016; 07.04.2016; 20.05.2016; 21.05.2016; 16.06.2016; 13.01.2017; 03.05.2017; 08.06.2017; 16.09.2017; 06.01.2018; 30.10.2018; 22.12.2018; 16.06.2020; 29.07.2020
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 29.10.2004   Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 29.10.2004   Details anzeigen
3 Verwaltungsverfahren Ausscheidungs- oder Teilungsanmeldung in 29.10.2004   Details anzeigen
4 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 19.01.2005   Details anzeigen
5 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 22.09.2005   Details anzeigen
6 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 17.10.2005 07.04.2016 Details anzeigen
7 Publikationen Offenlegungsschrift 04.05.2006 04.05.2006 Details anzeigen
8 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 15.11.2015   Details anzeigen
9 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 02.02.2016   Details anzeigen
10 Prüfungsverfahren Erteilungsbeschluss durch Prüfungsstelle/Patentabteilung 29.02.2016   Details anzeigen
11 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 29.02.2016 07.04.2016 Details anzeigen
12 Publikationen Patentschrift 16.06.2016 16.06.2016 Details anzeigen
13 Prüfungsverfahren Patent rechtskräftig erteilt 17.03.2017 08.06.2017 Details anzeigen
14 Vertreteränderung Änderung des Vertreters 15.09.2017   Details anzeigen
15 Verwaltungsverfahren Die Anmeldung gilt als zurückgenommen wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr/das Schutzrecht ist wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr erloschen 01.05.2020 30.07.2020 Details anzeigen