Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 10 2004 003 538.5 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 5. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ10 2004 003 538.5
54Bezeichnung/TitelTIIntegrierte Halbleiterschaltung mit einer Logik- und Leistungs-Metallisierung ohne Intermetall-Dielektrikum und Verfahren zu ihrer Herstellung
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 23/522 (2006.01)
51IPC-Nebenklasse(n)ICS
(ICSV)		 H01L 21/768 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT23.01.2004
43OffenlegungstagOT08.09.2005
Veröffentlichungstag der ErteilungPET08.09.2005
71/73Anmelder/InhaberINHInfineon Technologies AG, 81669 München, DE
72ErfinderINRüb, Michael, Dr., Faak am See, AT; Detzel, Thomas, Dr., Villach, AT
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE102004003538B3
Recherchierbarer Text: DE102004003538B3
Zustellanschrift Infineon Technologies AG Intellectual Property, 80506 München, DE
Zuständige Patentabteilung 33
57ZusammenfassungABDie Erfindung betrifft eine integrierte Halbleiterschaltung mit einem ersten und einem zweiten Abschnitt (I, II) eines Substrats (1), in denen jeweils eine Leistungshalbleiterschaltungsstruktur und eine Logikschaltungsstruktur gebildet sind, wobei die Metallisierung eine Leistungs-Metalllage (4) und eine vergleichsweise dünnere Logik-Metalllage (7) aufweist, die beide nur im ersten Abschnitt (I) über der Leistungshalbleiterschaltungsstruktur in dieser Reihenfolge ohne ein dazwischen liegendes Intermetalldielektrikum direkt übereinander liegen, und wenigstens zwischen der Leistungs-Metalllage (4) und der Zwischenoxidschicht (2) sowie zwischen der Leistungs-Metalllage (4) und den von ihr kontaktierten Kontaktbereichen und Elektrodenabschnitten der Leistungshalbleiterschaltungsstruktur eine ununterbrochene leitfähige Barriereschicht (3) liegt, sowie ein Herstellungsverfahren dafür.
56Entgegenhaltungen/ZitateCT DE000003544539A1 (DE 35 44 539 A1)
43ErstveröffentlichungstagEVT08.09.2005
Anzahl der Bescheide 1
Anzahl der Erwiderungen 1
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT26.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT21.10.2020
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)26.05.2011; 19.07.2011; 07.02.2012; 24.03.2012; 26.01.2013; 08.02.2013; 28.03.2013; 08.02.2014; 28.03.2014; 27.03.2015; 01.04.2016; 28.03.2017; 23.03.2018; 11.04.2019; 16.09.2020; 21.10.2020
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 23.01.2004   Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 23.01.2004   Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 01.03.2004   Details anzeigen
4 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 09.02.2005   Details anzeigen
5 Prüfungsverfahren Erteilungsbeschluss durch Prüfungsstelle/Patentabteilung 18.04.2005   Details anzeigen
6 Publikationen Patentschrift 08.09.2005 08.09.2005 Details anzeigen
7 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 17.10.2005   Details anzeigen
8 Prüfungsverfahren Patent rechtskräftig erteilt 08.12.2005 02.03.2006 Details anzeigen
9 Verwaltungsverfahren Die Anmeldung gilt als zurückgenommen wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr/das Schutzrecht ist wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr erloschen 01.08.2020 22.10.2020 Details anzeigen