Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 101 43 515.0 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 3. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ101 43 515.0
54Bezeichnung/TitelTIMaskenanordnung für einen Abbildungsprozess, Verfahren zu deren Herstellung sowie Verfahren zum optischen Abbilden bzw. zum Herstellen eines Kompensationsbauelements
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 G03F 1/20 (2012.01)
22Anmeldetag DEDAT05.09.2001
43OffenlegungstagOT03.04.2003
Veröffentlichungstag der ErteilungPET07.09.2006
71/73Anmelder/InhaberINHInfineon Technologies AG, 81669 München, DE
72ErfinderINRüb, Michael, Dr., Faak am See, AT; Umbach, Frank, 82054 Sauerlach, DE; Werner, Wolfgang, Dr., 81545 München, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE000010143515A1
Recherchierbarer Text: DE000010143515A1
Originaldokument: DE000010143515B4
Recherchierbarer Text: DE000010143515B4
Zustellanschrift Infineon Technologies AG Intellectual Property, 80506 München, DE
Zuständige Patentabteilung 51
57ZusammenfassungABUm für Abbildungsprozesse, insbesondere für Implantationsprozesse, eine Maskenanordnung (3) mit besonders genauen geometrischen Eigenschaften und Abmessungen zu schaffen, wird vorgeschlagen, eine Mehrzahl von Maskenelementen (1, 2) mit jeweils einem Maskenmuster (11, 12, 12; 21, 22) vorzusehen, die Maskenelemente (1, 2) in einer vorbestimmten räumlichen Beziehung zueinander anzuordnen und dann dadurch die Maskenanordnung (3) mit einem Kombinationsmaskenmuster (31-36) durch Zusammenwirken der einzelnen Maskenmuster (11, 12, 13; 21, 22) auszubilden.
56Entgegenhaltungen/ZitateCT DE000010121181A1 (DE 101 21 181 A1)
DE000010006523A1 (DE 100 06 523 A1)
US000006214498B1 (US 62 14 498 B1)
US000005756237A (US 57 56 237 A)
43ErstveröffentlichungstagEVT03.04.2003
Anzahl der Bescheide 2
Anzahl der Erwiderungen 2
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT26.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT07.01.2024
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)26.05.2011; 19.07.2011; 05.10.2011; 26.11.2011; 09.10.2012; 23.11.2012; 23.01.2013; 09.10.2013; 29.11.2013; 09.10.2014; 02.12.2014; 09.10.2015; 03.12.2015; 25.11.2016; 22.05.2018; 03.08.2019; 12.09.2019; 07.01.2024
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 05.09.2001   Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 05.09.2001   Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 01.03.2002   Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 03.04.2003 03.04.2003 Details anzeigen
5 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 22.01.2004 25.03.2004 Details anzeigen
6 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 17.10.2005 12.09.2019 Details anzeigen
7 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 17.02.2006   Details anzeigen
8 Prüfungsverfahren Erteilungsbeschluss durch Prüfungsstelle/Patentabteilung 13.04.2006   Details anzeigen
9 Publikationen Patentschrift 07.09.2006 07.09.2006 Details anzeigen
10 Prüfungsverfahren Patent rechtskräftig erteilt 07.12.2006 08.03.2007 Details anzeigen
11 Verwaltungsverfahren Die Anmeldung gilt als zurückgenommen wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr/das Schutzrecht ist wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr erloschen 04.04.2018 12.09.2019 Details anzeigen
12 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 01.08.2019 12.09.2019 Details anzeigen