Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 101 21 181.3 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 5. Mai 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ101 21 181.3
54Bezeichnung/TitelTIStencilmaske für Hoch- und Ultrahochenergieimplantation und Verfahren zur Herstellung dieser Stencilmaske
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)		 H01L 21/266 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT30.04.2001
43OffenlegungstagOT14.11.2002
Veröffentlichungstag der ErteilungPET04.12.2014
71/73Anmelder/InhaberINHInfineon Technologies AG, 81669 München, DE
72ErfinderINRüb, Michael, Dr., Faak am See, AT
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE000010121181A1
Recherchierbarer Text: DE000010121181A1
Originaldokument: DE000010121181B4
Recherchierbarer Text: DE000010121181B4
Zustellanschrift Intellectual Property Infineon Technologies AG, 80506 München, DE
Zuständige Patentabteilung 43
57ZusammenfassungABDie Erfindung betrifft eine Stencilmaske für Hoch- und Ultrahochenergieimplantation von Halbleiterwafern, wobei die Stencilmaske (1) in einem Substrat Implantationsöffnungen aufweist, durch die die Implantationsenergie auf einen zu implementierenden Wafer projizierbar ist und wobei das kritische Maß (CD) der Implantationsöffnungen (2) in Abhängigkeit von der jeweiligen Implantationsenergie definiert ist.
56Entgegenhaltungen/ZitateCT US000006214498B1 (US 6 214 498 B1)
US000006187481B1 (US 6 187 481 B1)
US000005972794A (US 5 972 794 A)
US000005770336A (US 5 770 336 A)
EP000000399998B1 (EP 0 399 998 B1)
JP002001109136A (JP 2001- 109 136 A)
43ErstveröffentlichungstagEVT14.11.2002
Anzahl der Bescheide 7
Anzahl der Erwiderungen 8
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT26.05.2011
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT03.12.2016
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)26.05.2011; 06.06.2011; 21.06.2011; 27.06.2011; 02.07.2011; 08.07.2011; 14.07.2011; 19.07.2011; 27.07.2011; 28.07.2011; 02.08.2011; 21.09.2011; 24.09.2011; 18.01.2012; 19.01.2012; 07.02.2012; 07.04.2012; 12.04.2012; 05.05.2012; 05.07.2012; 10.01.2013; 12.01.2013; 21.02.2013; 09.05.2013; 27.06.2013; 03.08.2013; 23.02.2014; 01.03.2014; 09.05.2014; 14.06.2014; 04.07.2014; 18.07.2014; 19.07.2014; 22.07.2014; 25.07.2014; 29.07.2014; 30.07.2014; 31.07.2014; 01.08.2014; 04.08.2014; 25.11.2014; 04.12.2014; 09.05.2015; 22.10.2015; 24.10.2015; 12.11.2015; 22.12.2015; 28.01.2016; 03.12.2016
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 30.04.2001   Details anzeigen
2 Prüfungsverfahren Prüfungsantrag wirksam gestellt 30.04.2001   Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 04.07.2001   Details anzeigen
4 Publikationen Offenlegungsschrift 14.11.2002 14.11.2002 Details anzeigen
5 Klassifikationsänderung Änderung der IPC-Hauptklasse 17.10.2005   Details anzeigen
6 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 01.09.2009   Details anzeigen
7 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 01.08.2011   Details anzeigen
8 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 16.09.2011   Details anzeigen
9 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 28.12.2012   Details anzeigen
10 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 09.01.2013   Details anzeigen
11 Prüfungsverfahren Prüfungsbescheid 13.06.2014   Details anzeigen
12 Prüfungsverfahren Erwiderung auf Prüfungsbescheid 14.07.2014   Details anzeigen
13 Prüfungsverfahren Erteilungsbeschluss durch Prüfungsstelle/Patentabteilung 31.07.2014   Details anzeigen
14 Publikationen Patentschrift 04.12.2014 04.12.2014 Details anzeigen
15 Prüfungsverfahren Patent rechtskräftig erteilt 05.09.2015 26.11.2015 Details anzeigen
16 Verwaltungsverfahren Die Anmeldung gilt als zurückgenommen wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr/das Schutzrecht ist wegen Nichtzahlung der Jahresgebühr erloschen 03.11.2015 28.01.2016 Details anzeigen
17 Vertreteränderung Änderung des Vertreters 12.11.2015   Details anzeigen