Registerauskunft Patent

Aktenzeichen DE: 11 2012 002 871.6 (Status: nicht anhängig/erloschen, Stand am: 20. April 2024)

Stammdaten
INIDKriteriumFeldInhalt
SchutzrechtsartSARTPatent
StatusSTNicht anhängig/erloschen
21Aktenzeichen DEDAKZ11 2012 002 871.6
86Aktenzeichen WOWAKZPCT/US2012/040892
87Veröffentlichungsnummer WOWPN2013006242
54Bezeichnung/TitelTIAtomlagenabscheidung von dünnen Filmen an Übergangsmetall
51IPC-HauptklasseICM
(ICMV)
H01L 21/44 (2006.01)
22Anmeldetag DEDAT05.06.2012
85PCT Eintritt Nationale Phase PatentPATNAT07.01.2014
86Anmeldetag WOWAT05.06.2012
43OffenlegungstagOT10.01.2013
71/73Anmelder/InhaberINHWayne State University, Detroit, MI, US
72ErfinderINWinter, Charles H., Bloomfield Hills, Mich., US; Knisley, Thomas J., Monroe, Mich., US; Ariyasena, Thiloka, Detroit, Mich., US
74VertreterVTRMeissner Bolte Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB, 80538 München, DE
10Veröffentlichte DE-DokumenteDEPNOriginaldokument: DE112012002871T5
Recherchierbarer Text: DE112012002871T5
Zustellanschrift Meissner Bolte Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB, 81633 München, DE
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Ausländische PrioritätPRC
PRNA
PRDA
US
61/504,859
06.07.2011
Zuständige Patentabteilung 33
87Veröffentlichungssprache WOWLANGEN - Englisch
57ZusammenfassungABAn atomic layer deposition method for forming metal films on a substrate comprises a deposition cycle including: a) contacting a substrate with a vapor of a metal-containing compound described by formula 1 for a first predetermined pulse time to form a first modified surface: MLn (1) wherein: n is 1 to 8; M is a transition metal; L is a ligand; b) contacting the first modified surface with an acid for a second predetermined pulse time to form a second modified surface; and c) contacting the second modified surface with a reducing agent for a third predetermined pulse time to form a metal layer.
81Bestimmungsstaaten WOWDSAE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Veröffentlichte EP-/WO-DokumenteEPWOPNOriginaldokument: WO2013006242A1
Recherchierbarer Text: WO2013006242A1
43ErstveröffentlichungstagEVT10.01.2013
Anzahl der Bescheide 0
Anzahl der Erwiderungen 0
Erstmalige Übernahme in DPMAregisterEREGT20.03.2014
Tag der (letzten) Aktualisierung in DPMAregisterREGT07.01.2023
(alle Aktualisierungstage einblenden)(alle Aktualisierungstage ausblenden)20.03.2014; 03.05.2014; 08.07.2014; 24.07.2014; 11.07.2015; 07.07.2016; 21.07.2017; 12.07.2018; 17.10.2018; 05.07.2019; 14.08.2019; 07.01.2023
Verfahrensdaten
Nr. Verfahrensart Verfahrensstand Verfahrensstandstag Verfahrensstandstag aufsteigend sortiert Erstveröffentlichungstag Alle Details anzeigen
1 Vorverfahren Die Anmeldung befindet sich in der Vorprüfung 05.06.2012   Details anzeigen
2 Verfahren zur PCT-Anmeldung WO-Erstveröffentlichung mit Recherchebericht 10.01.2013   Details anzeigen
3 Vorverfahren Das Vorverfahren ist abgeschlossen 11.02.2014   Details anzeigen
4 Vorverfahren Abschluss PCT Eintritt Nationale Phase 11.02.2014   Details anzeigen
5 Publikationen Veröffentlichung der Übersetzung der PCT-Anmeldung 20.03.2014 20.03.2014 Details anzeigen
6 Vorverfahren Die Anmeldung gilt wegen Nichtstellung des Prüfungsantrages als zurückgenommen 06.06.2019 14.08.2019 Details anzeigen